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- 扬杰科技请求一种改进双极退化的碳化硅 MOSFET 器材及制备办法的专利下降了器材产生双极退化的可能性
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金融界 2024 年 9 月 4 日音讯,天眼查知识产权信息数据显现,扬州扬杰电子科技股份有限公司请求一项名为“一种改进双极退化的碳化硅 MOSFET 器材及制备办法“,公开号 CN2.6,请求日期为 2024 年 5 月。
专利摘要显现,一种改进双极退化的碳化硅 MOSFET 器材及制备办法。触及半导体技术领域。包含如下过程:S100,在碳化硅衬底上外延成长构成碳化硅漂移层;S200,在碳化硅漂移层源区构成 N+区;S300,在碳化硅漂移层构成 PW 区;S400,在 PW 区构成 Spacer 层,经过离子注入构成 NP 区;S500,在 PW 区构成 PP 区;S600,在碳化硅漂移层构成 JFET 区;S700,在碳化硅漂移层顶面构成栅氧层;S800,在栅氧层上经过堆积多晶硅构成 Poly 层,作为栅电极引出;S900,在 Poly 层上经过堆积构成与 Poly 层和 NP 区相触摸的阻隔介质层,阻隔栅极和源级,防止两处短接;本发明下降器材电阻,进步器材通流才能,下降了器材产生双极退化的可能性。
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